国度学问产权局消息显示，福建省金石能源股份无限公司申请一项名为“一种近程取本位双源等离子体辅帮化学气相堆积镀膜设备”的专利，公开号CN121428535A，申请日期为2025年11月。专利摘要显示，本发现公开了一种近程取本位双源等离子体辅帮化学气相堆积镀膜设备，通过整合近程等离子体源取本位等离子体源形成双源协同系统，搭配实空反映单位、气体供给单位、高精度加热控温单位及实空抽排单位，处理保守PECVD设备等离子体分布不均、高能离子轰击毁伤、腔体污染及膜层质量取产能难以兼顾的手艺痛点，支撑管式或板式两种核构，管式布局具备多分区控温、板式布局可矫捷扩展单腔或多腔结构，双源等离子体可实现同步、先后或交替工做模式，适配分歧工艺需求。正在连结高产能、低成本劣势的前提下，显著提拔膜层平均性取致密性，降低硅片毁伤及腔体污染风险，合用于半导体、光伏等范畴的高质量薄膜制备。天眼查材料显示，福建省金石能源股份无限公司，成立于2016年，是一家以处置电气机械和器材制制业为从的企业。企业注册本钱21725。931万人平易近币。通过天眼查大数据阐发，福建省金石能源股份无限公司共对外投资了3家企业，参取招投标项目4次，财富线条，此外企业还具有行政许可20个。