盛美上海:2025年公司立式炉管、Track以及PECVD设备

发布时间:2026-02-02 11:53

  等平台化产物已连续投放市场,无望为2026年及此后的全体营收贡献力量,成为主要的业绩增加点。Track设备方面,2025年第三季度公司推出首款自从研发的高产出(300WPH)KrF工艺前道涂胶显影(Track)设备UltraLITHKrF,并已成功交付中国头部逻辑晶圆厂客户,该产物具有高产能、先辈温控手艺以及及时工艺节制和监测功能,展示了公司正在新产物品类中的持续扩展能力。正在PE方面,公司对该类设备的差同化手艺构架及将来市场前景很是有决心,将PE推向更广漠的国表里市场。LPCVD、ALD炉管系列设备持续推进手艺研发,均取得了立异冲破。公司自从研发的UltraFn立式炉管设备采用公司独有的立式炉管布局设想,具备最高1250C的处置能力,可以或许聚焦高端IGBT使用,市场全体反应优良,下一代产物方针做到具备1350C的处置能力,近年来公司持续强化对ALD设备的研发投入,堆集了一系列自从研发的具有全球的专利手艺,并等候将来可以或许正在ALD设备平均性、材质等方面持续做出更多贡献,取得更多手艺冲破,以差同化立异工艺持续满脚客户多样化需求,将成为公司将来业绩增加的一大增加点。